1、水环真空泵排气过滤器是一个属于耗材料类配件,有油气分离作用,可以防止真空泵油随着尾气排出真空泵泵体,把过滤下来的真空泵油沉淀下来回流到油箱里,w100无油立式真空泵,当排气过滤器失效时,排气过滤器就起不到过滤作用,导致真空泵油随着尾气排出,这就是为何排气口有白色或都蓝色油烟。一般3-6个月就要考虑更换,但在污染比较严重行业,更换的频率要多一些。 2、水环真空泵的油积碳、发黑,像油泥一样,无油立式真空泵结构,要将真空泵油更换掉,就要将水环真空泵从系统上拆下,用干净的方盘接在放油孔下。旋油塞和放油塞,放出污油。断续启动电机,使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200-300CC.断续启动电动机,立式无油真空泵,再次清洗各真空室。这样经2-3次重复清洗后,放光清洗用油,旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置,旋紧注油塞不使漏气。要注意油加的过多,减少油的加入量;进气口长时间抽大气。
2、合理稀释液有害气体的浓度值:半导体易造成前边常说的、有害的有害气体。因此半导体水环真空泵运用中在抽取这种介质时就务必避免他们在真空泵内或是排气管全过程中产生一些不可控性的反映。例如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等化学物质,在与气体或氧触碰的情况下,会造成点燃乃至;氡气在空气中的混和占比做到一定水平与温度时也会产生点燃。这种都在于该物质的量及其与自然环境的工作压力、温度的关联。因而半导体真空泵在抽取这种介质时,必须用N2这类的稀有气体,在缩小前将要这种汽体稀释液到那时候标准下的安全性范畴。3、留意co2的浓度值:
当我们根据选择标准选购了一台好的水环真空泵时,一切准备就绪要开机运行,这时候还要注意一些问题所在,为了今后大家可以顺利的使用,下面就给大家介绍一下设备使用时的注意问题: 1、如果真空室和泵之间没有冷阱,则不能用泵直接抽真空至13Pa以下。 2、在启动机械泵之前,要检查泵油位是否合乎要求,油的状态,看是否被污染。 3、温度过高会把泵油氧化,所以在油增压泵通大气之前,一定要检查泵油的温度。 4、真空系统不工作时,除了机械泵通大气以外,真空系统的其它部件在真空条件下封存。 5、在油增压泵开启或停止工作的时候,应该先关闭油增压泵入口的阀门,防止泵油返流到真空室当中去。 6、水环真空泵启动之前,前级压力应在允许压强范围之内,若是该具有过载保护装置,则它可以启动得稍早一些。 7、接入系统以后抽不上去: ①先检查泵所在的系统的翻气率是否**过允许值,同时检查泵的电炉工作是否正常、泵的冷却是否正常。 ②若已经排除真空容器密封、阀门工作都正常,则有可能是本身的问题,需要和生产厂家进行交流,可能存在着泵油变质、冷却不好、泵油不足或泵过热等问题。 水环真空泵抽放负压高、流量小、适用于抽放量不大、要求抽放负压高的矿井使用,为了今后更好的使用大家在开机前要做好一切的准备工作,脑中要记住注意事项和容易发生的问题。